Método de fabricação do chip do sensor de condução óssea

1. A presente tecnologia refere-se ao campo técnico de dispositivos de sistema micro-eletromecânico (mems), em particular a um chip sensor de condução óssea.

Técnica de fundo:

2. Com o rápido desenvolvimento da tecnologia mems, surgiu o chip sensor de condução óssea mems (doravante referido como chip sensor de condução óssea). Um chip sensor de condução óssea convencional geralmente inclui uma placa traseira e uma membrana vibratória dispostas de forma oposta, e uma massa é suspensa no lado da membrana vibratória afastada da placa traseira. O bloco de massa sente a vibração óssea gerada pela vibração das cordas vocais e gera vibração mecânica. A vibração mecânica do bloco de massa leva a membrana vibratória a vibrar, alterando assim a distância entre a placa traseira e a membrana vibratória e, em seguida, alterando o sinal de capacitância, de modo a realizar a detecção do sinal sonoro. . No entanto, a sensibilidade do chip sensor de condução óssea convencional não é muito estável, o que limita seu campo de aplicação.

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