Um sistema nanocompósito e método para pesquisar nanomateriais

Sep 16, 2022

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1. A presente invenção refere-se ao campo de equipamentos de pesquisa científica em nível de pesquisa em nanociência e, em particular, ao campo de um sistema integrado em nanoescala e um método para pesquisar nanomateriais.

Técnica de fundo:

2. A nanociência é uma ciência que estuda as leis da física dentro de 100 nanômetros, e seu desenvolvimento é inseparável do desenvolvimento e avanços no campo dos equipamentos de pesquisa científica. Os tipos de equipamentos de pesquisa nanocientífica comumente usados ​​incluem equipamentos de processamento micro-nano, como máquinas de litografia, máquinas de exposição a feixe de elétrons, etc., equipamentos de controle de propriedade física, como equipamentos para alterar as propriedades eletro-ópticas de amostras, etc. , e equipamentos de caracterização de propriedades físicas, como microscópio de força atômica, mesa de agulhas de sonda, espectrômetro, etc.

3. No entanto, as funções do equipamento de pesquisa científica único mencionado acima são relativamente simples. Por exemplo, a principal função do equipamento de processamento micro-nano é processar a estrutura micro-nano da amostra, e é impossível observar e caracterizar diretamente a estrutura micro-nano processada. Boas amostras são retiradas do dispositivo para posterior caracterização. Por outro lado, os equipamentos de caracterização de propriedades físicas não podem realizar a nanofabricação de amostras ou controlar as propriedades físicas das amostras, podendo apenas fornecer a caracterização de amostras que foram processadas ou cujas propriedades físicas foram ajustadas. Em particular, a regulação das propriedades ópticas e elétricas de uma amostra é muitas vezes não permanente, transitória e muda dinamicamente com o ambiente e o tempo da amostra. Portanto, é muito importante realizar o controle da propriedade física em tempo real in situ e a caracterização da propriedade física da amostra, e é a chave para saber se a lei de mudança do fenômeno físico transitório da amostra pode ser observada.

4. Atualmente, a combinação de equipamentos de pesquisa científica pode resolver alguns dos problemas acima, como a combinação de microscopia de força atômica e espectroscopia Raman, que pode caracterizar simultaneamente as propriedades físicas da morfologia da amostra e espectroscopia Raman; microscopia de força atômica e teste elétrico A combinação da plataforma pode realizar a caracterização das propriedades físicas da morfologia e características de transporte elétrico da amostra ao mesmo tempo. No entanto, o efeito da simples superposição e combinação não é ideal, e ainda é impossível realizar o processamento micro-nano, controle de propriedades físicas e caracterização de propriedades físicas in situ da amostra ao mesmo tempo, o que limita muito a pesquisa sobre as propriedades físicas básicas dos nanomateriais e a pesquisa e desenvolvimento de nanodispositivos. com fabricação.

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